I manipolatori a vuoto vengono utilizzati per spostare o posizionare wafer o oggetti in camere a vuoto specializzate e per applicazioni di movimentazione dei materiali. Forniscono una maggiore flessibilità perché non vengono utilizzati collegamenti rigidi. Alcuni manipolatori del vuoto includono dispositivi di montaggio o effettori finali. Altri includono blocchi di carico e bastoncini oscillanti. Spesso i manipolatori a vuoto vengono utilizzati insieme alle camere a vuoto. I manipolatori o robot di wafer sono un tipo automatizzato di manipolatori sotto vuoto per lo spostamento di wafer o substrati all'interno o all'esterno di una camera PVD, CVD, incisione al plasma o altre camere di lavorazione sotto vuoto. Per creare una camera a vuoto, un motore a vuoto o un motore sotto vuoto pompa fisicamente l'aria dal recipiente fino al raggiungimento della pressione subatmosferica desiderata. Se la camera a vuoto contiene un vuoto ultra-alto, è necessario utilizzare un manipolatore per vuoto ultra-alto e un motore per vuoto ultra-alto.
1. Il design unico della ventosa può far alzare o abbassare l'oggetto a piacimento, ma anche ruotare in qualsiasi direzione della sede fissa della ventosa per rendere l'operazione comoda e precisa. Il design del telecomando offre comodità di funzionamento e garantisce la sicurezza degli utenti.
2. Il morsetto della macchina di aspirazione sottovuoto adotta una piastra di aspirazione importata, con forte forza di adsorbimento, elevata sicurezza e protezione dei prodotti da eventuali danni.
3. La gru a vuoto può trasportare facilmente oggetti con superficie fragile, difficile da sollevare e liscia per migliorare l'efficienza, ridurre la forza lavoro e risparmiare sui costi aziendali.